Газовая панель VMP для сверхчистых газов UHP серии PU

Щит газовый регулирующий VMP, VMB серии PU предназначен для использования с газами высокой чистоты и сверхчистыми газами (UHP) 99,99 -99,99999. Конструкция точки доступа VMP, VMB серии РU предусматривает наличие запорных мембранных и пневматических клапанов, для обеспечения перекрытия газового потока, регулировки и индикации давления. Точка доступа (Gas Stick) серии PU устанавливается в качестве второй ступени регулировки и индикации давления и может иметь различные конфигурации исполнения. Газовые панели для ультрачистых газов (UHP) серии PU производится по стандарту SEMI (semiconductor industry).

Преимущества:

• Мембранные клапаны с индикатором положения закрыто/открыто
• Расположение в настенном шкафу с вытяжным патрубком конфигурация VMB (газовый бокс UHP)
• Опция установки пурификатора, датчика давления, фильтра, пневматического клапана
• Производство и сборка по стандарту SEMI S2 по безопасности оборудования для производства полупроводников
• Сборка в помещении класса 100
• Регуляторы в составе панелей UHP (Ultra High Purity) с типом Tied Diaphragm серий U11, U12, U13